Kylin4000作为全新一代高精度近红外干涉仪,采用先进的干涉测量技术,通过近红外光源照射被测物体,利用光波在不同表面反射并发生干涉,从而精准计算膜层厚度。
该产品具备0.05μm的超高精度,能够有效提升生产节拍,确保成品质量,并对关键工序进行全程监控。不仅拥有独立显示面板,便于实时观测测量数据,还配备多样化接口,能便捷接入各类自动化生产与检测系统。
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Tigris是一款专为高深宽比TSV检测设计的光学测量系统,采用非接触式、非破坏性技术,提供高效、精准的TSV深度测量解决方案,快速帮助半导体制造商发现缺陷,助力HPC和AI芯片的先进制程发展。
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6/8寸硅片全兼容|37点同步扫描|8秒极速测量
本产品是一款用于6寸和8寸硅晶片的快速非接触式几何测量仪,采用多通道电容式传感器,实现晶圆翘曲度与弯曲度的非接触检测;支持手动测量与自动化产线集成,可选配应力分析及3D形貌重建模块。
37个测量点可在最多8秒内测量一个晶片,专利可调中心框架实现6/8寸晶片快速切换,搭载智能分析平台实时生成SEMI标准热力图与SPC报告,满足半导体前道与先进封装工艺的精密几何量测需求。
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