检测内容：使用多点式翘曲测量设备为晶圆生产提供翘曲度在线检测方案。通过多测头电容传感器技术，实现6寸与8寸晶圆翘曲度与弯曲度的高精度测量，翘曲检测精度达±0.2μm，翘曲重复性0.1μm，确保晶圆整体的平整度。系统无缝对接晶圆产线，可集成在半导体晶圆加工自动化流程中。
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检测内容：Kylin4000作为全新一代高精度近红外干涉仪，采用先进的干涉测量技术， 通过近红外光源照射被测物体，利用光波在不同表面反射并发生干涉，从而精准 计算膜层厚度。
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检测内容：Kylin4000作为全新一代高精度近红外干涉仪，采用先进的干涉测量技术， 通过近红外光源照射被测物体，利用光波在不同表面反射并发生干涉，从而精准计算膜层厚度。
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