01 · Optical Interconnect

V 槽与光纤阵列
几何测量

面向光模块与 CPO 制造中的 V 槽基板与光纤阵列(FA/FAU),以亚微米重复性自动测量关键几何尺寸,减少人工判定,支持批量一致性与结果追溯。

实测验证 · 产品化推进

What we measure

测什么

  • 槽间距(相邻节距)与累计间距
  • 槽中心位置:虚拟圆中心、实际包层中心、实际纤芯中心按定义分别输出,不混称
  • 槽角、槽深等几何参数
  • V 槽基板及光纤阵列相关尺寸

槽间距与累计间距的误差直接消耗光纤耦合容差:白光干涉精度高但慢,普通视觉快但缺少高精度位置基准。

V 槽基板样品(方形)
V 槽基板
V 槽基板样品(长条)
长条样品
V 槽测试效果:测量软件中在槽内放置直径 125 μm 的虚拟光纤圆
测试效果 · 125 μm 虚拟光纤圆

How it works

怎么测

V 槽测量示意:槽间距、累计间距、槽中心、槽角
01

精密成像

针对玻璃、硅等镜面槽壁设计照明与成像,配合自动对焦。

02

位移参考

以激光干涉位移作为大行程位置基准,保证累计间距的测量。

03

同步采集

运动中曝光与位置严格对齐,实现边走边拍。

04

几何模型

由槽形轮廓计算槽间距、槽中心与槽角,结果可统计、可追溯。

Verified

已验证到哪一步

3σ≤0.1μm
关键尺寸重复性(龙瞳实测)
  • α 版本样机已完成,在客户端验证与迭代中
  • 已为多家光通信器件客户完成样品测试报告

样本数与测试条件以正式测试报告为准。

Cooperation

如何合作

  1. 样品评估

    提供样品与图纸公差,明确参数定义。

  2. 测试报告

    给出测量结果、样本量、条件与重复性。

  3. 设备方案

    按节拍与自动化需求定义设备与验收标准。

预约样品测试