01 · Optical Interconnect
V 槽与光纤阵列
几何测量
面向光模块与 CPO 制造中的 V 槽基板与光纤阵列(FA/FAU),以亚微米重复性自动测量关键几何尺寸,减少人工判定,支持批量一致性与结果追溯。
实测验证 · 产品化推进
What we measure
测什么
- 槽间距(相邻节距)与累计间距
- 槽中心位置:虚拟圆中心、实际包层中心、实际纤芯中心按定义分别输出,不混称
- 槽角、槽深等几何参数
- V 槽基板及光纤阵列相关尺寸
槽间距与累计间距的误差直接消耗光纤耦合容差:白光干涉精度高但慢,普通视觉快但缺少高精度位置基准。



How it works
怎么测
01
精密成像
针对玻璃、硅等镜面槽壁设计照明与成像,配合自动对焦。
02
位移参考
以激光干涉位移作为大行程位置基准,保证累计间距的测量。
03
同步采集
运动中曝光与位置严格对齐,实现边走边拍。
04
几何模型
由槽形轮廓计算槽间距、槽中心与槽角,结果可统计、可追溯。
Verified
已验证到哪一步
- 3σ≤0.1μm
- 关键尺寸重复性(龙瞳实测)
- α 版本样机已完成,在客户端验证与迭代中
- 已为多家光通信器件客户完成样品测试报告
样本数与测试条件以正式测试报告为准。