03 · In-line Thickness
近红外厚度测量
Kylin 系列近红外干涉测厚，在喷水、振动和磨屑中完成稳定测量，为晶圆减薄与背磨提供实时厚度信号。
Kylin 系列 · 在线测厚
What we measure
测什么
- 晶圆及适用材料厚度、薄膜厚度（非接触）
- 典型工况：晶圆减薄 / 背磨在线测量，也可离线台式测量
- 现场环境：去离子水或冷却液喷淋、磨削污物、振动、狭小安装空间
为什么要在线测
减薄时芯片结构已经形成，过磨后再离线发现已无法挽回。在线测厚让磨床在过程中拿到厚度，及时降速、停磨或报警。
Core chain
自主掌握的核心链路
输出厚度值、置信度与状态信号，对接磨床或设备控制系统。
自研光源
面向在线长期稳定运行设计。
自研光谱仪
光谱采集链路自主设计与调试。
嵌入式实时计算
现场实时解算厚度，输出置信度与状态。
在线防护测头
防液、抗振，适配磨削区附近的安装空间。
量程、重复性等详细规格因材料与工况而异，可在签署保密协议后提供测试报告。
Product & Cooperation
产品形态与合作
- 在线传感器：测头 + 控制单元
- OEM 测厚模组：按客户设备接口集成
- 台式测量：离线厚度与薄膜测量
说明材料、厚度范围与安装条件，龙瞳评估可行性并给出测试结果；设备厂可按接口协议联合调试集成。
咨询方案